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    2020年

  • 202012

    获国际大厂先进制程重复订单
    UV Cure研制成功,并出货到客户端
    客户端总流片量超过1500万片
  • 202011

    “十三五”国家重大专项通过验收
    整机累计出货量超过100台套
  • 20209

    认定为“辽宁省企业技术中心”

    2019年

  • 201912

    泛半导体应用TFLITE研制成功
  • 201912

    获评国家知识产权示范企业
  • 201912

    完成第四轮融资
  • 201910

    获批设立“辽宁省博士创新实践基地”
  • 20199

    SACVD研制成功并出厂到客户端

    2018年

  • 201812

    首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
  • 201810

    12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

    2017年

  • 201712

    首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
  • 201710

    PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
  • 20178

    完成第三轮融资

    2016年

  • 201612

    拓荆新厂投入使用
  • 20164

    “十一五”国家重大专项通过验收
  • 20163

    首台12英寸ALD出厂到客户端

    2015年

  • 201512

    获批“十三五”国家重大专项
  • 20159

    完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
  • 20153

    PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

    2014年

  • 201412

    获批组建“辽宁省薄膜设备工程研究中心”
  • 20148

    中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
  • 20145

    完成公司首轮增资

    2013年

  • 201312

    PF-300T通过中芯国际产品线测试
  • 20135

    首台12寸PF-300销售

    2012年

  • 201212

    推出12英寸多反应腔PF-300T设备

    2011年

  • 201110

    首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
  • 20118

    获批建设辽宁省半导体薄膜技术装备工程技术研究中心

    2010年

  • 20104

    沈阳拓荆科技有限公司成立

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2020年
  • 12

    2020
    获国际大厂先进制程重复订单
    UV Cure研制成功,并出货到客户端
    客户端总流片量超过1500万片
  • 11

    2020
    “十三五”国家重大专项通过验收
    整机累计出货量超过100台套
  • 9

    2020
    认定为“辽宁省企业技术中心”
2019年
  • 12

    2019
    泛半导体应用TFLITE研制成功
  • 12

    2019
    获评国家知识产权示范企业
  • 12

    2019
    完成第四轮融资
  • 10

    2019
    获批设立“辽宁省博士创新实践基地”
  • 9

    2019
    SACVD研制成功并出厂到客户端
2018年
  • 12

    2018
    首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
  • 10

    2018
    12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
2017年
  • 12

    2017
    首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
  • 10

    2017
    PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
  • 8

    2017
    完成第三轮融资
2016年
  • 12

    2016
    拓荆新厂投入使用
  • 4

    2016
    “十一五”国家重大专项通过验收
  • 3

    2016
    首台12英寸ALD出厂到客户端
2015年
  • 12

    2015
    获批“十三五”国家重大专项
  • 9

    2015
    完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
  • 3

    2015
    PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
2014年
  • 12

    2014
    获批组建“辽宁省薄膜设备工程研究中心”
  • 8

    2014
    中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
  • 5

    2014
    完成公司首轮增资
2013年
  • 12

    2013
    PF-300T通过中芯国际产品线测试
  • 5

    2013
    首台12寸PF-300销售
2012年
  • 12

    2012
    推出12英寸多反应腔PF-300T设备
2011年
  • 10

    2011
    首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
  • 8

    2011
    获批建设辽宁省半导体薄膜技术装备工程技术研究中心
2010年
  • 4

    2010
    沈阳拓荆科技有限公司成立

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